Metaprom.ru / Прочее промышленное оборудование, услуги

Система контроля и мониторинга эпитаксии UNICON-sb-I/O-3.24x (Таганрог)

Категория объявления: Предложение

UNICON-sb-I/O-3.24x - многофункциональная мультиканальная система контроля и мониторинга процесса газофазной (МОС-гидридной) эпитаксии. Система предназначена для формирования высококачественных гетероструктур модифицированным методом МОС-гидридной эпитаксии, принцип работы которого основан на химическом синтезе из газовой фазы металлоорганических соединений и азота пленочных полупроводниковых структур в потоке водорода. Процесс протекает при прецизионно поддерживаемых температурах в диапазоне от 350°C до 1300°C. Значения кривых профиля, его график, температура в различных участках вакуумной камеры и ход процесса отображаются на экране человеко-машинного интерфейса системы. Ведется полный лог состояния всех параметров системы.

Основные возможности и технические характеристики
UNICON-sb-I/O-3.24x:
- Регистрация значений температуры в трех точках вакуумной камеры с точностью не хуже ±0, 1°С частотой опроса до 10 раз в секунду.

- Управление двух- и/или трехконтурным резистивным нагревателем с точностью поддержания температуры ± 0, 1°С.

- Осуществление нагрева образца/подложки по заранее сформированному температурному профилю (графику – температура-время).

- Прецизионное управление процессом охлаждения подложки по температурному профилю (графику температура-время).

- Специализированное программное обеспечение для проведения процессов нагрева-охлаждения для эпитаксии.

- Аппаратное исполнение: встраиваемая система с подсистемами Real-Time, FPGA и подсистемой ввода-вывода;

- Многоканальное ПИД-регулирования (частота цикла PID-регулятора до 1 кГц);

- Формирование сигнала управления нагревателем согласно температурному профилю и закону PID-регулирования;

- Детерминированное по времени выполнение температурного профиля с возможностью постановки на паузу, продолжения работы и аварийной остановки процесса;

В связи с постоянным совершенствованием и развитием системы производитель оставляет право изменять ее характеристики и состав системы.

Объявление размещено: 23.09.2024, просмотров всего: 72.

Рекламное продвижение на Metaprom.ru

Другие объявления Югрон, ООО

Фото	Тема объявления
	Комплекс IVC-MaLi-M AI-0X i для оптических исследований 23.09.24
	IVC-MaLi-M AI-06 RAMAN VISION 15.08.23
	IVC-MaLi-M AI-01 10.04.23
	SPECTRA-VIR1100 07.09.21
	IVC-MaLi-M AI-05-VISION 07.07.21